Ako plánujú TSMC a ASML prístup k 2nm uzlu procesu
TSMC a ASML prechádzajú na 3nm a 2nm čipy
TSMC funguje na 3nm a 2nm procesných uzloch
Spoločnosti ako TSMC a Samsung ale ani nestihnú pochváliť svoje 5nm komponenty. Je to preto, že obe zlievarne už pracujú na uzle procesu 3nm. V roku 1965 spoluzakladateľ spoločnosti Intel Gordon Moore zistil, že hustota tranzistorov na čipe sa každoročne zdvojnásobuje. Potom to zrevidoval tak, že každé dva roky zdvojnásobil hustotu tranzistorov. Na oslavu teda zostáva málo času.
Jedným z nástrojov vyvinutých na udržanie Moorovho zákona pri živote je extrémna ultrafialová litografia (EUV). Litografia sa používa na tlač obvodov na tenké kremíkové pláty. Keď premýšľate o veľkosti čipovej sady a miliardách tranzistorov, ktoré musia byť umiestnené vo vnútri, pochopíte, že vnútri čipu je potrebné urobiť veľmi jemné značky. EUV na to používa ultrafialové lúče. Uzol N5, s ktorým TSMC pracuje, môže používať 5nm až pre 14 vrstiev. 3nm procesný uzol by mohol poskytnúť až 15% nárast výkonu pri rovnakom počte tranzistorov ako 5 nm a až 30% zníženie spotreby energie (pri rovnakých frekvenciách a zložitosti).
Holandská litografická spoločnosť ASML tvrdí, že pri 3 nm je litografia použiteľná vo viac ako 20 vrstvách. Peter Wennink, generálny riaditeľ spoločnosti ASML, hovorí: „Myslím si, že na N5 v logike máme viac ako 10 vrstiev a v N3 budeme mať viac ako 20 a v skutočnosti to plazenie vidíme. Je to len fakt, že to prináša oveľa väčší úžitok z prepínania na jednoduché modelovanie a odstraňovanie týchto viacvzorkových stratégií DUV (Deep Ultraviolet), čo platí aj pre DRAM. Keď jedna litografická expozícia nevyvoláva dojem ostrého rozlíšenia, používajú sa expozície s duálnym vzorom. Výrobcovia pamäťových čipov (RAM a NAND) sa na tento proces spoliehajú.
TSMC plánuje použiť tranzistory FinFET pre svoj 3nm režim pred prepnutím na GAAFET (gate all around) pre 2nm čipy. Na rozdiel od FinFET, ktorý neobklopuje kanál zo všetkých strán, GAA obklopuje kanál pomocou brány. Vďaka tejto poslednej metóde je únik prúdu takmer zanedbateľný.